氢气发生器是实验室中重要的制取氢气设备，如何正确操作氢气发生器，对于实验的进行有着重要的作用。氢气发生器是一种用于氢燃料电池的自调式氢气发生器。氢气发生器主要由电解池、流量显示、开关电源、净化、液路压力自控等系统组成。
氢气发生器启动前要添加氢氧化钾电解液，充分搅拌溶解，静等电解液*冷却后再注入储液桶中待用，然后加入高纯水，注意不能超过上限水位线，但是也不要低于下限水位线，随后拧上外盖。液位管中的白色东西是液位管接口处的润滑剂，不影响使用，待整体换液后就好。
氢气发生器的电解池是桶状的，它在电解池内会存有相当一部分电解液，所以将储液桶内的电解液吸干净后，还需要将氢气发生器向后倾斜90°，此时电解池内的电解液就会流到储液桶内，再用洗耳球把储液桶内的电解液吸干净。然后将内盖装上后拧上外盖，以免残留的电解液在运输时会发生外溢，将氢气发生器腐蚀造成无法修复的后果。
氢气作为半导体制造中的气源，在半导体材料及器件制备中起到至关重要的作用。可在光电器件、传感器、IC制造中应用。目前半导体工艺中氢气主要用于退火、外延生长、干法刻蚀等工艺。
退火是通过高温加热释放材料内部应力从而改善材料质量的一种材料处理办法，氢气作为保护气可以起到防止氧化等作用，多用于薄膜生长后释放应力。氢气在等离子体刻蚀（RIE／ICP）中作为反应气体出现，等离子体刻蚀原理是利用反应气体离化后与材料发生反应生成挥发性物质，从而实现材料图形化，是半导体器件制备的不可少的工艺。
更新时间：2023-07-20
点击次数：2286
当前位置：
